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RIX半導(dǎo)體設(shè)備用旋轉(zhuǎn)接頭 可供應(yīng)純水 MS3P系列,是專為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的,用于供應(yīng)純水和化學(xué)溶液。主回路采用非金屬材料,使其成為*大限度減少金屬離子溶入液體的旋轉(zhuǎn)接頭。
聯(lián)系電話:027-81622688
品牌 | RIX/瑞顧克斯 | 貨號 | MS3P系列 |
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規(guī)格 | 可咨詢 | 供貨周期 | 一個月 |
主要用途 | 半導(dǎo)體行業(yè)用于晶圓加壓、CMP設(shè)備、供應(yīng)純水和化學(xué)溶液 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
RIX半導(dǎo)體設(shè)備用旋轉(zhuǎn)接頭 可供應(yīng)純水 MS3P系列
RIX半導(dǎo)體設(shè)備用旋轉(zhuǎn)接頭 可供應(yīng)純水 MS3P系列
規(guī)格:
適用流體:純水、空氣 、真空
最大壓力 :-0.095~0.6MPa
最大通路:5
最大轉(zhuǎn)速:800min-1
主要途徑與其特點:
在旋轉(zhuǎn)托盤的冷卻水IN/OUT用,晶圓真空夾緊用
空氣/真空流路可能追加
應(yīng)用端設(shè)備對象:精磨/粗磨、CMP裝置
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新能源動力電池: 日本旭精工、熊谷理機
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